Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)


Prüfung und Zertifizierung nach SEMI-Richtlinien

Im Rahmen der Prüfung und Zertifizierung von Maschinen bietet TÜV SÜD auch weltweit Komplettleistungen für die Halbleiterindustrie. Die Experten an unseren globalen Standorten in den USA, Südkorea und Japan verfügen über umfassendes Fach- und Branchenwissen und bieten Ihnen Informationen und Leistungen.

So sichern Sie sich einen Vorsprung vor dem Wettbewerb und den Zugang zu diesem hochspezialisierten und globalen Markt.

SEMI® -Richtlinien und Standards

Wer auf dem Markt für Halbleiter-Fertigungseinrichtungen erfolgreich sein will, muss die neuesten Standards und Richtlinien der Halbleiterindustrie erfüllen. SEMI® (Semiconductor Equipment and Materials International) ist eine internationale Organisation, die Unternehmen aus allen wichtigen Bereichen der Halbleiterindustrie zu ihren Mitgliedern zählt. Die im Bereich 'Internationale Standardisierung' von SEMI vom Komitee für Sicherheit, Gesundheit und Umwelt entwickelten Standards und Richtlinien gelten als allgemein anerkannte Sicherheitsstandards in der Halbleiterindustrie – einem Industriezweig, in dem qualitativ hochwertige Produkte ein Muss sind. Der SEMI S2-Standard, die Sicherheitsrichtlinie für Halbleiter-Fertigungseinrichtungen, gilt als das Aushängeschild der SEMI-Richtlinien im Bereich der Sicherheit.

Der SEMI S2-Standard definiert Mindestanforderungen an die Sicherheit der bei der Halbleiterfertigung eingesetzten Produkte. Diese Anforderungen umfassen mögliche Gesundheits- und Sicherheitsgefährdungen, wie z.B. mechanische, elektrische und chemische Gefahren, ionisierende und nicht-ionisierende Strahlen, Erdbeben, Belüftung, Umwelteinflüsse und Ergonomie. Dabei verweist oder stützt sich der SEMI S2-Standard auf diverse weitere SEMI-Richtlinien. Weitere SEMI-Richtlinien sind derzeit in Entwicklung.

SEMI®-Sicherheitsrichtlinien für Halbleiter-Fertigungseinrichtungen

  1. SEMI S1 Equipment Safety Labels
  2. SEMI S3 Process Liquid Heating Systems
  3. SEMI S6 Exhaust Ventilation
  4. SEMI S8 Ergonomics
  5. SEMI S9 Electrical Tests (to be removed soon)
  6. SEMI S10 Risk Assessment
  7. SEMI S13 Documentation Provided
  8. SEMI S14 Fire Risk Assessment
  9. SEMI S22 Electrical Design (includes tests from SEMI S9)

Weitere hilfreiche SEMI Standards

  1. SEMI S7 Evaluation Personnel and Evaluating Company Qualifications
  2. SEMI S17 Unmanned Transport Vehicles (UTV)
  3. SEMI S23 Equipment Energy Conservation
  4. SEMI S25 Hydrogen Peroxide Storage and Handling Systems
  5. SEMI S26 Flat Panel Display (FPD) Systems
  6. SEMI S27 Contents of ESH Evaluation Reports

Folgende SEMI®-Richtlinien befinden sich derzeit in Entwicklung:

  • Vorbereitung, Installation und Lebenszyklus
  • Elektrische Sicherheit von Fertigungseinrichtungen

Die Konformität mit dem SEMI S2-Standard ist bei vielen Kunden, ebenso wie bei vielen internationalen Halbleiterherstellern, u.a. Intel, Texas Instruments, IBM, AMD, SGS Thompson, Phillips, und Motorola, inzwischen Vertragsbedingung. Seit kurzem fordern auch einige öffentliche Auftraggeber aufgrund eines Mangels an anderen geeigneten Richtlinien die Einhaltung der maßgeblichen Forderungen des SEMI S2-Standards, um sicherzustellen, dass die Fertigungseinrichtungen die Anforderungen an die elektrische Sicherheit und den Brandschutz erfüllen. Wappnen Sie Ihr Unternehmen für diese Herausforderungen.

Die SEMI®-Richtlinien werden häufig überarbeitet und aktualisiert. Wer in diesem Markt ganz vorne mit dabei sein möchte, muss stets über die neuesten Entwicklungen informiert sein. Die Ingenieure von TÜV SÜD arbeiten aktiv an der Weiterentwicklung und Überarbeitung der SEMI®-Standards mit und können Sie so bezüglich der gegenwärtigen und künftigen Anforderungen beraten.

Konformitätsbewertung

TÜV SÜD verfügt im Bereich der Prüfung und Zertifizierung von Halbleiter-Fertigungseinrichtungen über umfassendes Expertenwissen und langjährige Erfahrung und bietet Ihnen die von der Industrie anerkannten Prüf- und Zertifizierungsleistungen für Halbleiter-Fertigungseinrichtungen gemäß dem SEMI S2-Standard und vergleichbaren Richtlinien.

Neben vollständigen SEMI-Berichten basierend auf Tests von Fertigungseinrichtungen, Vor-Ort-Inspektionen und der Prüfung Ihrer technischen Unterlagen bieten wir das TÜV SÜD SEMI-Zeichen. Mit diesem von einer unabhängigen Stelle ausgestellten Zertifizierungszeichen dokumentieren Sie, dass Ihre Fertigungseinrichtungen die Anforderungen der Richtlinie erfüllen. Das Zeichen belegt nicht nur, dass die von Ihnen hergestellten Maschinen geprüft und zertifiziert wurden, sondern zeigt darüber hinaus, dass die Zertifizierung von einem im Bereich der Produktsicherheit bekannten und renommierten Unternehmen durchgeführt wurde.

CE-Kennzeichnung

Die meisten Halbleiterhersteller fertigen weltweit. Daher können Maschinen durchaus von einem in ein anderes Fertigungswerk verlagert werden und jetzt oder künftig auch in der Europäischen Union zum Einsatz kommen. Alle Maschinen, die auf dem europäischen Markt eingesetzt werden, benötigen eine CE-Kennzeichnung.